HighQ
Das Recycling Modul 3UF
Unser Recycling Modul 3UF steht für Innovation und maximale Effizienz bei der Rückgewinnung von Wasser und Rohstoffen.
- Überblick
- Anwendungsbereich
- Technische Daten
- Ausstattung
Das Recycling Modul 3UF
Das bauseitig zu recycelnde Abwasser aus dem CMP-Prozess wird über die Vorfiltrationsstufen dem integrierten Rezirkulationstank zugeführt. In weiterführenden Prozessschritten wird das Abwasser im Rezirkulationsverfahren über die drei Ultrafiltrationsmodule aufkonzentriert und zeitgleich das Permeat (Wasser) dem Prozess entzogen. Aufgrund des patentierten Rückspülprozesses wird die Lebensdauer dieser kostenintensiven UF-Module deutlich erhöht. Nach der Ultrafiltration wird die aufkonzentrierte Slurry über einen Feinstfilter dem kundenseitigen Prozess zur Verfügung gestellt oder dem optional verfügbaren Mix & Transfer Modul zugeführt. Durch die Modulbauweise kann auch eine bestehende Sub-Fab ausgerüstet werden.
Wiederverwendung & Qualitätsverbesserung
Die patentierte Recycling-Anlage macht es möglich, verwendete Stoffe zurückzugewinnen und wiederzuverwenden. Ressourcen werden so völlig ausgeschöpft. Die Qualitätsstandards der chemischen Rohstoffe werden durch den Recyclingprozess beibehalten.
Ressourcenschonend durch Recyclingquote
Durch die Wiederverwendung chemischer Rohstoffe und des Prozesswassers (Permeate) ergeben sich deutliche Einsparungen im Produktionsprozess. Durch eine Recyclingquote von bis zu 85 % müssen nur 15 % neue Rohstoffe zugeführt werden. Der Bedarf an Rohstoffen wird dadurch deutlich reduziert.
Schutz der Wasserressourcen
Die Recycling-Anlage leistet einen wichtigen Beitrag zum Schutz der Umwelt. Schädliche Nano-Partikel werden aus dem Abwasser herausgefiltert und sorgen für eine bessere Wasserqualität. Der reduzierte Verbrauch nicht erneuerbarer Rohstoffe spart wichtige und wertvolle Ressourcen.
Kosteneinsparung durch Rückspülverfahren
Das patentierte, selbstreinigende Rückspülverfahren der Ultrafiltrationsmodule führt zu einer wesentlich längeren Lebensdauer der sehr kostenintensiven Filterelemente. Das erhöht die Kosteneffizienz des gesamten Systems.
Das Chemisch-mechanische Planarisieren (CMP)
Das Chemisch-mechanische Planarisieren (CMP) ist ein Polierverfahren in der Waferbearbeitung, um dünne Schichten gleichmäßig abzutragen. Beim bisherigen CMP-Prozess ist Slurry ein reines Abfallprodukt, das mit einer aufwändigen Abwasseraufbereitung und Neutralisation der Entsorgung zugeführt werden muss. Mit dem Recycling Modul HighQ kann das Abwasser in einem Recycling-Prozess in die einzelnen Bestandteile Slurry und Wasser aufgetrennt werden. 85 % des Slurrys kann so wieder dem CMP- Prozess zurückgeführt und wiederverwendet werden.
| Vorlagetank | 2500 L |
| Permeattank | 1000 L |
| Rezirkulations Tank | 1800 L |
| System-Dimensionen | 3600/1650/2612mm |
| Gewicht | 1,8t (leer) 4,5t (maximal) |
Spezifikationen und Hauptmerkmale
- Recycling von gebrauchtem Slurry, mit einer Recyclingrate von über 80%
- Recycling von gebrauchtem Wasser, Recyclingrate > 80%
- Flüssigkeitsentnahme > 85 l/min und > 3 bar
- Fernwartung über TCP/IP
- Vollautomatisches System
- Bedienungsfreundlicher Touchscreen Panel
- Steuerungssystem S7-SPS
- Sichtbare/hörbare Warnungen und Alarme
- Passwortgeschützte Betriebsstufen
- Hohe Sicherheitsstandards
- Echtzeit-Vorwarnung für den Filterwechsel
- CE-Zertifizierung
Materialien
- PP (Polypropylen)
- PFA (Perfluoralkoxy)
- PVC (Polyvinylchlorid)
Betriebssystem
- Movicon Scada/HMI
- MS Windows (Microsoft Windows)
Standard-Analytik
- Dichte
- Gesamtprozent Feststoffe
- pH-Wert
- Leitfähigkeit
Optionale Qualitätskontrolle
- Viskosität
- LPC (Großteilchenzähler)
- PSD (Partikelgrößenverteilung)
- Zetapotential (elektrokinetisches Potenzial)
- Metallanalytik
- Silikat
Anforderungen
- Abwasser frei von organischen Lösungsmitteln und Oxidationsmitteln
- Keine Verunreinigungen von Kupfer oder Wolfram
- Temperatur: 15°C – 30°C / 59°F – 86°F
- pH-Wert: 2 – 11
Mix & Transfer Modul
Das Mix & Transfer Modul beinhaltet zwei Mischtanks und einen Transfertank. Das Mixtank Modul dient zum Vermischen des recycelnden Slurrys mit dem Original Slurry nach der vorgegebenen Recyclingrate.
Der Lagertank dient zum Puffern der fertig angemischten Slurry. Aus dem Lagertank steht über eine Transferpumpe der aufbereitete Slurry dem Prozess wieder zur Verfügung. Das Modul ist automatisiert und mit moderner Überwachungstechnik ausgestattet. Die Gesamtsteuerung des Moduls übernimmt das zentrale Recyclingmodul.
Original Slurry Versorgungssystem
Das Chemieversorgungsmodul dient zur Versorgung von Original Slurry zum Mix & Transfer Modul und ist mit zwei Stellplätzen für Chemiebehälter ausgestattet. Durch die Aufnahme von zwei Behältern besteht die Möglichkeit, von einem leeren Behälter auf einen vollen Behälter automatisch umzuschalten, um damit eine unterbrechungsfreie Versorgung zu gewährleisten. Zusätzlich ist für eine unterbrechungsfreie Versorgung ein redundantes Pumpenmodul integriert. Das Slurry Versorgungssystem wird von der Steuerung des zentralen Recycling Moduls gesteuert.
Chemieversorgungsmodul
Das Chemieversorgungsmodul dient zur Versorgung von Original Chemie zum Recycling Modul und ist mit zwei Stellplätzen für Chemiebehälter ausgestattet. Durch die Aufnahme von zwei Behältern besteht die Möglichkeit, von einem leeren Behälter auf einen vollen Behälter automatisch umzuschalten, um damit eine unterbrechungsfreie Versorgung zu gewährleisten. Zusätzlich ist für eine unterbrechungsfreie Versorgung ein redundantes Pumpen Modul integriert. Das Chemieversorgungsmodul ist automatisiert und wird von dem zentralen Recycling Modul gesteuert.
Abwasserpuffertank
Der Abwasserpuffertank dient als Puffertank für das Prozessabwasser. Der Tank ist mit einer Pumpe ausgestattet, welche je nach Anforderung das Abwasser zum Recyclingmodul pumpt. Der Puffertank ist automatisiert und wird von dem zentralen Recycling Modul gesteuert.
Analyse Modul
Das Analyse Modul dient für die zusätzliche Überwachung des Mix & Transfer Moduls. In dem Modul sind weitere Sensoren und eine Probennahmestelle installiert, welche online eine präzise Überwachung der Mischung ermöglicht. Die Messwerte werden in der Gesamtsteuerung des Recycling Moduls aufgezeichnet und visualisiert.
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