HighQ
Das Compact Recycling Modul 1UF
Entdecken Sie das innovative Compact Recycling Modul 1UF – effiziente Abwasser-Recyclinglösung für den CMP Prozess!
- Überblick
- Anwendungsbereich
- Technische Daten
Das Compact Recycling Modul 1UF
Das bauseitig zu recycelnde Abwasser aus dem CMP Prozess wird über eine Vorfiltration dem integrierten Rezirkulationstank zugeführt. In weiterführenden Prozessschritten wird das Abwasser im Rezirkulationsverfahren über die Ultrafiltration aufkonzentriert und zeitgleich das Permeate (Wasser) dem CMP Prozess Abwasser entzogen.
Wiederverwendung & Qualitätsverbesserung
Die patentierte Recycling-Anlage macht es möglich, verwendete Stoffe zurückzugewinnen und wiederzuverwenden. Ressourcen werden so völlig ausgeschöpft. Die Qualitätsstandards der chemischen Rohstoffe werden durch den Recyclingprozess beibehalten.
Ressourcenschonend durch Recyclingquote
Durch die Wiederverwendung chemischer Rohstoffe und des Prozesswassers (Permeate) ergeben sich deutliche Einsparungen im Produktionsprozess. Durch eine Recyclingquote von bis zu 85 % müssen nur 15 % neue Rohstoffe zugeführt werden. Der Bedarf an Rohstoffen wird dadurch deutlich reduziert.
Schutz der Wasserressourcen
Die Recycling-Anlage leistet einen wichtigen Beitrag zum Schutz der Umwelt. Schädliche Nano-Partikel werden aus dem Abwasser herausgefiltert und sorgen für eine bessere Wasserqualität. Der reduzierte Verbrauch nicht erneuerbarer Rohstoffe spart wichtige und wertvolle Ressourcen.
Kosteneinsparung durch Rückspülverfahren
Das patentierte, selbstreinigende Rückspülverfahren der Ultrafiltrationsmodule führt zu einer wesentlich längeren Lebensdauer der sehr kostenintensiven Filterelemente. Das erhöht die Kosteneffizienz des gesamten Systems.
Das Chemisch-mechanische Planarisieren (CMP)
Das Chemisch-mechanische Planarisieren (CMP) ist ein Polierverfahren in der Waferbearbeitung, um dünne Schichten gleichmäßig abzutragen. Beim bisherigen CMP-Prozess ist Slurry ein reines Abfallprodukt, das mit einer aufwändigen Abwasseraufbereitung und Neutralisation der Entsorgung zugeführt werden muss. Mit dem Recycling Modul HighQ kann das Abwasser in einem Recycling-Prozess in die einzelnen Bestandteile Slurry und Wasser aufgetrennt werden. 85 % des Slurrys kann so wieder dem CMP- Prozess zurückgeführt und wiederverwendet werden.
| Rezirkulations Tank | 700 L |
| Permeat tank | 138 L |
| System-Dimensionen | 2000/1500/2200 mm |
| Gewicht | 1,1t (leer) 2,1t (maximal) |
Spezifikationen und Hauptmerkmale
- Recycling von gebrauchter Slurry, Recyclingrate > 80%
- Recycling von gebrauchtem Wasser, Recyclingrate > 80%
- Flüssigkeitsentnahme > 28 l/min und > 3 bar
- TCP/IP-basierte Fernwartung
- Vollautomatisches System
- Bedienungsfreundlicher Touchscreen Panel
- S7-SPS-Steuerungssystem
- Sichtbare/ Hörbare Warnungen und Alarme
- Passwortgeschützte Betriebsstufen
- Hohe Sicherheitsstandards
- Echtzeit-Vorwarnung für den Filterwechsel
- CE-zertifiziert
Materialien
- PP (Polypropylen)
- PFA (Perfluoralkoxy)
- PVC (Polyvinylchlorid)
Betriebssystem
- Movicon Scada/HMI
- MS Windows (Microsoft Windows)
Standard-Analytik
- Dichte
- Gesamtprozent feste Bestandteile
- pH-Wert
- Leitfähigkeit
Qualitätskontrolle optional
- Viskosität
- LPC (Großteilchenzähler)
- PSD (Partikelgrößenverteilung)
- Zetapotential (elektrokinetisches Potenzial)
- Metallanalytik
- Silikat
Anforderungen
- Abwasser frei von organischen Lösungsmitteln und Oxidationsmitteln
- Keine Verunreinigungen von Kupfer oder Wolfram
- Temperatur: 15°C – 30°C / 59°F – 86°F
- pH-Wert: 2 – 11
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