Recycling-Anlagen zur Rückgewinnung von Slurry, Wasser und wertvollen Rohstoffen
Als weltweit erstes Unternehmen entwickelte die Fäth Group eine patentierte Recycling-Anlage, die die Rückgewinnung von Reinstwasser und chemischen Rohstoffen durch einen Ultrafiltrationsprozess ermöglicht. Der Recycling-Anlage wird eine Mischung aus Abwasser und Chemikalien zugeführt. Durch mehrere komplexe Filtrations- und Ultrafiltrationsstufen wird das Gemisch aus Wasser und Chemikalien aufgetrennt und kann wieder aufbereitet dem Produktionsprozess zugeführt werden. Ein solches Verfahren ist in der Halbleiterindustrie zukunftsweisend und umweltfreundlich.
Wiederverwendung & Qualitätsverbesserung
Die patentierte Recycling-Anlage macht es möglich, verwendete Stoffe zurückzugewinnen und wiederzuverwenden. Ressourcen werden so völlig ausgeschöpft. Die Qualitätsstandards der chemischen Rohstoffe werden durch den Recyclingprozess beibehalten.
Ressourcenschonend durch Recyclingquote
Durch die Wiederverwendung chemischer Rohstoffe und des Prozesswassers (Permeate) ergeben sich deutliche Einsparungen im Produktionsprozess. Durch eine Recyclingquote von bis zu 85 % müssen nur 15 % neue Rohstoffe zugeführt werden. Der Bedarf an Rohstoffen wird dadurch deutlich reduziert.
Schutz der Wasserressourcen
Die Recycling-Anlage leistet einen wichtigen Beitrag zum Schutz der Umwelt. Schädliche Nano-Partikel werden aus dem Abwasser herausgefiltert und sorgen für eine bessere Wasserqualität. Der reduzierte Verbrauch nicht erneuerbarer Rohstoffe spart wichtige und wertvolle Ressourcen.
Kosteneinsparung durch Rückspülverfahren
Das patentierte, selbstreinigende Rückspülverfahren der Ultrafiltrationsmodule führt zu einer wesentlich längeren Lebensdauer der sehr kostenintensiven Filterelemente. Das erhöht die Kosteneffizienz des gesamten Systems.
Compact Recycling Modul 1UF
Das Compact Recycling Modul 1UF HighQ für einen mittleren Durchsatz von 1.7 m³/h bietet fortschrittliche, ökologische und zugleich hochqualitative Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie. Der Schwerpunkt dieses Compact Moduls mit einem Ultrafilter liegt auf der Rückgewinnung von Reinstwasser und chemischen Rohstoffen durch einen Ultrafiltrationsprozess. Der gesamte Prozess zeichnet sich durch ein hohes Maß an Effizienz und Qualität bei gleichzeitiger Steigerung der Produktivität und Rücksicht auf die Umwelt aus.
Recycling Modul 3UF
Das Recycling Module 3UF HighQ bietet mit einem mittleren Durchsatz von 5.4 m³/h eine stark progressive und zugleich hochwertige Prozesslösung für die Halbleiterindustrie an. Mit drei Ultrafiltern fokussiert sich dieses Modul auf die Rückgewinnung von Reinstwasser und chemischen Rohstoffen durch einen Ultrafiltrationsprozess. Diese perfekte Ressourcennutzung, sowie eine erhebliche Kosteneffizienz und der Schutz der Umwelt durch Ressourceneinsparung, zeichnen den gesamten Prozess aus.
Recycling Modul 8UF
Das Recycling Module 8UF HighQ eignet sich für umweltfreundliche und höchst innovative Prozesslösungen in der Halbleiterindustrie mit einem hohen Durchsatz von 9.0 m³/h. Dieses Modul mit insgesamt acht Ultrafiltern konzentriert sich auf die Rückgewinnung von Reinstwasser und chemischen Rohstoffen durch einen Ultrafiltrationsprozess. Die perfekte Nutzung aller Ressourcen und die gleichzeitige Steigerung der Produktivität kennzeichnet den gesamten Prozess.
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