Spezifikationen und Systemfunktionen

• Flüssigkeitsversorgung oder Dampfzufuhr durch Bubbler
• Gewichtskontrollierende Bubbler- oder Tagestanknachbefüllung
• Beheizte Leitungen
• Vollautomatische Funktionen für Behälterwechsel, Wartung und Spülung
• Einfache Bedienung mittels Touch-Panel 12
• Variierende Volumenströme gemäß Toolanforderungen
• Siemens S7 PLC
• Visuelle Signalleuchtsäulen für schnelle Status- und Alarmanzeige
• Passwortgeschützte Bedienerebenen
• Füllstandsanzeige der Behälter
• Redundante Vakuum-Erzeuger
• Systeme: z.B. TMA / DEZ